| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2014년 봄 (04/30 ~ 05/02, 제주국제컨벤션센터) |
| 권호 | 18권 1호 |
| 발표분야 | 포스터-화학공정 |
| 제목 | Silicon Spalling Stress-Controlled Nickel Layer Deposition 의 공정 최적화 조건 |
| 초록 | 최근 국내 태양전지 시장은 선진 개발국들의 고효율 태양전지 기술 선점과 더불어 중국 시장의 대량 공급으로 인해 크게 흔들리고 있다. 이로 인해 국내외적으로 경쟁력을 높이기 위해 태양전지의 고품질, 고효율화 및 저가실현을 위한 박형화 기술 개발이 활발하게 진행되고 있다. 이에 따라 kerf-less 초박형 기판 제작을 위해 실리콘 spalling을 위한 실리콘과 금속간의 밀착력 확보, 박리두께 제어 등 다양한 기술 개발의 중요성 역시 대두 되고 있다. 따라서, 본 연구에서는 실리콘 박막 두께와 직접적인 관계가 있는 금속 층간 Stress Control을 위해 도금의 두께, Laser groove 및 온도 등 물리적 조건들을 가지고 stress에 영향을 미치는 인자들을 파악한 뒤 Workbench Mechanical 시뮬레이션을 사용하여 재료의 Stress 변형 메커니즘을 규명하고 최적화 된 실험 조건을 도출해 보았다. |
| 저자 | 이지나, 정재학 |
| 소속 | 영남대 |
| 키워드 | Silicon Spalling; stress control; process optimization |
