| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2016년 봄 (05/18 ~ 05/20, 여수 디오션리조트 ) |
| 권호 | 22권 1호 |
| 발표분야 | F. 광기능/디스플레이 재료 분과 |
| 제목 | Dry Etching을 통한 실리콘 렌즈 제작 |
| 초록 | 오늘 날 데이터의 전송은 Laser 와 광섬유를 활용한 광통신에 절대적으로 의존하고 있다. 광통신은 기존의 전기신호 기반 통신 기술보다 매우 높은 통신 속도를 자랑하지만, Laser 광원에서 광섬유로 빛이 인입되는 단계의 효율 (Fiber Coupling Efficiency) 에 통신 품질이 크게 좌우된다는 단점이 있다 [1]. Fiber Coupling Efficiency 를 개선하기 위해서는 레이저 다이오드에서 넓은 각도로 방출된 빛을 광섬유의 중심(Core) 부분으로 모아주는 집광렌즈(Collimating Lens)가 필수적인데, 현재 사용되는 집광렌즈는 형틀(Mold) 을 이용하여 유기물 수지를 사출성형한 후 표면을 절삭연마하는 방식이 많이 사용되어 왔다. 이 방식은 생산단가가 저렴하지만, 정교한 성형이 어려워서 구면수차 등의 품질불량 문제가 제기되고 있다 [2]. 본 연구는 기존의 유기물 사출성형 방식을 반도체 공정으로 대체함으로써 표면 가공의 정밀도를 높이고, 렌즈의 재질도 반도체 공정에 적합한 무기물로 개선하는 것을 목표로 한다. 반도체공정은 PR 을 이용한 포토리소그라피(Photolithography) 공정과 플라즈마를 이용한 건식식각(Dry Etching) 공정으로 이루어져 있는데, PR 의 열처리를 통해 기본적인 렌즈의 형태를 구축하며 [3] 건식식각 공정의 조건을 최적화하여 렌즈의 곡률반경(Radius of Curvature) 를 조절하려고 한다. Reference [1] P.J. Winzer and W.R. Leeb, Optics Letters, 23, 86-988 (1998) [2] K.S. Jang, T.H. Lee, T.Y. Rho, C.S. Kim and M.Y. Jeong, J. Kor. Precision Engineering, 27, 18-24, (2010) [3] S. Mihailov and S. Lazare, Appl. Opt. 32, 6211-6218 (1993) |
| 저자 | 김성희, 이대장, 배효정, 박준범, 허재영, 류상완, 문종하, 하준석 |
| 소속 | 전남대 |
| 키워드 | <P>laser; efficiency; lense; etching</P> |
