| 학회 |
한국공업화학회 |
| 학술대회 |
2008년 가을 (11/12 ~ 11/14, ICC 제주) |
| 권호 |
12권 2호 |
| 발표분야 |
정보전자소재 |
| 제목 |
물리적 선별공정을 이용한 반도체 공정 인듐 폐기물의 재활용 기술 |
| 초록 |
디스플레이 산업의 지속적인 발전으로 투명 전도막 (ITO) 및 원료 물질인 인듐 (In)의 수요가 증가함에 따라 공정 중 폐기되는 인듐 스크랩이 꾸준하게 증가하고 있는 추세이다. ITO 증착공정으로부터 발생하는 저품위의 인듐은 공정 및 종류에 따라 인듐 함유량이 적게는 2% 이하에서 많게 70% 이상까지 매우 다양한 형태로 존재하는데, 이에 대한 재활용 기술이 시급히 마련되어야 한다.본 연구에서는 반도체 공정 중에 발생하는 10%의 인듐이 포함된 저순도 스크랩을 출발물질로 하여 물리적인 선별공정을 적용하였다. 인듐 스크랩 원료는 Al2O3가 주성분이며, 인듐은 산화물 형태로 존재한다. 본 연구에서 적용한 선별공정으로는 분급기술(cyclone), 분쇄기술(jet-mill), 부유선별기술(flotation) 그리고 상등액 분리기술(decantation)의 단독 또는 혼합공정을 사용하였다. 인듐 스크랩의 특성을 분석하고 각 공정에 따른 스크랩의 인듐 함량을 분석하여 물리적 선별공정에 대한 효율성을 고찰하였다. |
| 저자 |
정항철1, 공만식1, 홍현선1, 우상모2, 정수복3
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| 소속 |
1고등기술(연), 2(주)나인디지트, 3한국지질자원(연) |
| 키워드 |
인듐; 분급기술; 분쇄기술; 부유선별
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| E-Mail |
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