| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2011년 가을 (11/02 ~ 11/04, 경원대학교) |
| 권호 | 15권 2호 |
| 발표분야 | 무기재료 |
| 제목 | 대기압 CHF3 플라즈마 중합에 의한 다양한 표면의 소수성 향상 |
| 초록 | 대기압 플라즈마 기술은 발생된 활성 입자를 이용해 Dry etching, 반도체 분야의 유기 오염물 제거, 산화막 증착, 소재 표면의 활성화에 주로 응용되고 있다. 대기압 저온 플라즈마는 상압 상태의 연속공정이 가능하기 때문에 산업적인 응용면에서 큰 이점을 지니고 있고 저온 특성으로 인해 피처리물의 열변형을 일으키지 않고 제품의 품질을 향상시킬 수 있는 친환경적인 처리 공정 또한 가능하다. 본 연구에서는 CHF3 기체를 대기압 상태에서 플라즈마 중합하여 유리표면에 불소화합물이 표면 소수성 향상에 대해 연구하였다. 플라즈마 증착된 표면은 CF, CF2 등의 불화탄소 기능기가 표면에 도포 되었을 것으로 예상이 되며, 유리표면에 1um이하의 두께로 얇고 균일한 형태태를 가지고 있을 것으로 예상된다. |
| 저자 | 손향호, 권흥수, 이원규 |
| 소속 | 강원대 |
| 키워드 | 상압 플라즈마; 소수성 표면; CHF3 |
