| 초록 |
최근 보고되는 연구결과에 따르면 실온에서 환원가스를 검출하는 물질로서 MoO3, WO3 계통의 반도성 금속 산화물이 보고되고 있으며, 그중 MoO3는 가장 짧은 시간 안에 H2 gas의 누출을 감지하는 것으로 보고되었다. 감도가 우수하고 동작온도가 낮으며 반응속도가 빠른 H2 gas 센서를 제작하기 위해 glass 기판위에 Ar 과 O2 gas의 유량비를 50:0, 40:10, 35:15, 25:25로 변화시키면서 RF Magnetron sputtering 방법으로 박막을 증착하였다. 또한 촉매로서 H2 gas와 반응이 우수한 Pt, Pd, Pd/Ni을 E-beam evaporator를 사용하여 증착하였다. 제조된 Pt/MoO3, Pd/MoO3, Pd/Ni/MoO3 다층박막의 Hydrogen gas sensor로서의 시간 변화에 따른 색변화 응답속도, 회복속도, 투과도 변화, 밴드갭 변화 등을 측정하여 Hydrogen sensor의 gas 반응 메커니즘을 확인하고 수소 색 변화 센서용 최적의 조건을 탐색하였다. |
