화학공학소재연구정보센터
학회 한국공업화학회
학술대회 2013년 가을 (10/30 ~ 11/01, 대전컨벤션센터)
권호 17권 2호
발표분야 포스터-정보.전자소재
제목 organic-inorganic multilayer structures of Plasma-polymerized HMDSO, Hexane and Furan for  thin film encapsulation
초록  최근 차세대 디스플레이 및 조명으로 유연성을 가지는 유기발광소자(OLED)에 관한 연구가 중요해짐에 따라 기존에 사용되던 금속이나 유리를 이용한 봉지공정은 부적합하다. 본 연구에서는 우수한 가스배리어 특성을 갖는 고 유연성 배리어 소재를 만들기 위해 유/무기 다층박막구조를 가진 배리어 소재를 제작하여 분석하였다. 플라스틱 기판은 PEN film을 사용하였으며, 무기물층은 ALD(atomic layer deposition)공정을 이용한 산화알루미늄을 사용하였다. 또한 유기 고분자 층은 HMDSO(hexamethyldisiloxane), Hexane 그리고 Furan을 플라즈마 중합(plasma polymerization)시켜 형성된 고분자 박막을 제작하였다. 3가지 유기물을 가지고 power 50W에서 플라즈마 중합하여 증착속도를 측정하였으며, UV visible을 이용하여 광투과도를 측정하였다. 또한 고분자 박막의 화학결합구조는 FT-IR을 이용하여 분석하였고, 고분자 박막의 가스배리어 성능은 온도85℃, 상대습도 85%의 악조건 하에 전기적 칼슘산화시험(electrical calcium test)을 이용하여 수분방지특성을 분석하였다. 물리적 특성 평가를 위하여 반복굽힘시험을 통해 가스배리어 성능의 변화를 측정하였다.
저자 황규현, 서승우, 정은, 조성민
소속 성균관대
키워드 plasma polymerization; thin film encapsulation; gas barrier
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