| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2004년 봄 (05/14 ~ 05/14, 강릉대학교) |
| 권호 | 10권 1호 |
| 발표분야 | 반도체 II (화합물) |
| 제목 | Laser MBE법을 이용한 LaMnO3/SrMnO3/NdMnO3 산화물 인공격자의 성장 및 RHEED Intensity Oscillation |
| 초록 | 최근 초거대 자기저항 현상에 기인한 R1-x(rare earth)Ax(alkaline-earth)MnO3 계열의 망간 산화물에 대한 연구는 활발히 진행되고 있고, 그 중 La1-xSrxMnO3는 초거대 자기저항 현상으로 인해 자기센서와 저장매체로의 응용 가능성이 높아지고 있다. 그러나 La1-xSrxMnO3는 매우 큰 자기장 하에서 그 성질이 발현되는 문제점이 있다. 이러한 문제점을 극복하기 위해 본 연구에서는 망간 산화물 (LaMnO3, SrMnO3, NdMnO3)을 이용하여 선택적으로 에칭한 스텝이 형성된 SrTiO3 기판위에 (LaMnO3)n/(SrMnO3)n/(NdMnO3)n 인공격자를 형성시켰다. 인공격자를 성장 시킬 때 각 층의 정확한 두께 제어와 각 계면에서의 성장 모드를 증착과 동시에 관찰하기 위하여 Reflection High Energy Electron Diffraction과 결합된 Laser MBE System을 이용하였고 인공격자의 주기 변화 (1/1/1, 2/2/2, 5/5/5, 12/12/12, 22/22/22, 44/44/44, 88/88/88)를 통하여 박막 내부의 인위적인 응력 조절과 그에 따른 격자 변형을 관찰하였다. 주기변화는 In-situ 상태에서 RHEED의 Intensity Oscillation을 통해 조절 하였다. 인공격자의 구조적 성질은 High Resolution X-ray Diffraction (HRXRD) 통하여 분석하였다. |
| 저자 | 이광렬, 이재찬 |
| 소속 | 성균관대 |
| 키워드 | MBE; RHEED; Superlattice; LaMnO3; SrMnO3; NdMnO3 |
