| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2017년 봄 (05/17 ~ 05/19, 목포 현대호텔) |
| 권호 | 23권 1호 |
| 발표분야 | E. 환경/센서 재료 분과 |
| 제목 | 다공성 팔라듐 박막을 이용한 센서의 수소검지 특성 |
| 초록 | 환경오염의 원인이 되고, 매장량이 한정되어 있는 화석연료의 대체 에너지로 수소가 각광받고 있지만 최소 발화 에너지가 낮고 (0.017 mJ) 가연 범위가 넓기 (4-75 %) 때문에 위험하다. 따라서 일함수, 저항, 광학특성, 열전도율 등의 다양한 특성을 활용한 수소센서에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 특히 저항 방식의 수소센서는 제조하기 쉽고 가격이 저렴하기 때문에 감도 향상을 위한 다양한 제조 방법이 개발되고 있다. 본 연구에서는 물리 기상 층착법으로 제조한 다공성 팔라듐 박막을 이용해서 공정 압력에 따른 수소 검지 특성을 관찰하였다. 또한 SEM 분석을 통해 증착된 다공성 팔라듐 박막의 구조를 확인하였고, TEM 분석을 통해 입자간 접합을 확인하였다. 일반적으로 팔라듐 박막이 수소에 노출되면 저항이 증가하는 특성을 나타냈지만, 본 연구에서는 일반적인 특성과 달리 부피 변화로 따른 입자간 접촉 및 scattering 변화에 의해 저항이 증가하거나 감소하는 것을 확인하였다. |
| 저자 | 노희준1, 김현종2, 박진성1, 이호년2 |
| 소속 | 1한국생산기술(연), 2한양대 |
| 키워드 | <P>팔라듐; 수소</P> |
