| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2018년 봄 (05/02 ~ 05/04, 대구 엑스코(EXCO)) |
| 권호 | 22권 1호 |
| 발표분야 | 무기재료_포스터 |
| 제목 | 면 결정 방향에 따른 β-Ga2O3의 습식 식각 특성 비교 |
| 초록 | β-Ga2O3는 단사정계 (monoclinic) 구조로 전력 소자, 자외선 탐지기, 가스 센서, 그리고 발광다이오드 등으로 사용 될 수 있다. β-Ga2O3의 (-201)과 (010) 결정 방향을 갖는 면이 보편적으로 많이 사용되고 있으며 결정 방향에 따라서 물리적, 광학적, 전기적 특성이 다르기 때문에 다양한 응용이 가능하다. 본 연구는 β-Ga2O3의 결정 방향에 따른 KOH용액을 이용한 광화학식각 특성에 대해 연구되었다. 각각 (-201)과 (010) 면 방향을 가진 β-Ga2O3 단결정들은 n-type 농도가 같고 비슷한 결정 질을 보임에도 불구하고 다른 식각 특성을 보였다. (-201) 면의 경우 (010) 면 보다 3~4배 더 빠른 식각 속도를 보였으며 이러한 특성은 표면에 노출 된 불포화 결합을 갖고 있는 산소원자의 밀도와 관련이 있다. |
| 저자 | 정선우1, 백광현2, 장수환1 |
| 소속 | 1단국대, 2홍익대 |
| 키워드 | Beta gallium oxide; PEC; etching; KOH; LED; gas sensor; monoclinic |
