| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2000년 가을 (10/20 ~ 10/21, 포항공과대학교) |
| 권호 | 6권 2호, p.4777 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | 단분산 실리카 입자의 제조와 안정화에 대한 연구 |
| 초록 | 본 연구에서는 이러한 솔젤법의 장점을 이용하면서 동시에 단점을 극복하기 위해서, 기존의 상용화된 fumed silica와 colloidal silica를 성장핵으로 사용하여, 좀 더 크고 균일한 크기분포를 가지며, 수율을 높임으로써 사용화가 가능한 실리카 입자를 제조하고, 이들을 계면활성제나 silane coupling agent와 같은 안정화제를 사용하여 안정화시킴으로써 저장 안정성이 뛰어난 CMP용 실리카 슬러리를 개발 하고자 한다. |
| 저자 | 오원경, 소재현, 양승만 |
| 소속 | 한국과학기술원 화학공학과 |
| 키워드 | |
| 원문파일 | 초록 보기 |
