| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2009년 봄 (05/21 ~ 05/22, 무주리조트) |
| 권호 | 15권 1호 |
| 발표분야 | 반도체재료 |
| 제목 | 스퍼터링 및 셀렌화 열처리에 의한 CuInSe2 박막 제조 |
| 초록 | 현재 CuInSe2 (CIS)계 박막 태양전지를 구성하는 여러 단위 박막 중에 핵심박막이라 할 수 있는 CIS 광흡수층 제조방법으로는 동시증발법과 스퍼터링 방식이 대표적이다. 동시증발법의 three-stage 방식이 현재 최고효율을 내고 있지만 상용화를 위한 대면적화가 어렵고 복잡한 공정이기 때문에 이를 해결하기 위한 노력이 계속 되고 있다. 본 연구에서는 그 대안이 되고 있는 스퍼터링방식을 택하여 실험을 하였다. Cu와 In의 공급원으로 Cu와 CuIn 타겟을 선정하였다. 최적의 스퍼터링 조건을 찾기 위해 각 타겟별로 스퍼터링 파워와 시간을 조절하였으며 Cu, CuIn 전구체의 박막 조성 및, 두께에 미치는 영향을 살펴보았다. 위 실험 바탕으로 Cu와 CuIn의 동시스퍼터링을 통해 CuIn 전구체를 얻었으며 그 후 셀렌화 열처리를 통해 CIS 박막을 제조하였다. 전구체 Cu/In 원자비는 Cu 타겟의 스퍼터링 파워로 조절하여 하였다. 본 연구를 통해 이차상(CuxSe, InxSe)이 없는 단일상의 CIS 박막을 제조 하였으며 XEM, XRD, EDS, AES 등으로 박막을 분석하였다. |
| 저자 | 문동권1, 윤재호1, 안세진1, 곽지혜1, 이희덕2, 윤경훈1 |
| 소속 | 1에너지기술(연), 2충남대 |
| 키워드 | solar cell; CIGS; Sputtering; Selenization |
