| 초록 |
재료의 물성은 그 구조와 배열에 밀접한 관계가 있으며, 특히 나노재료의 경우 나노크기에서 일어나는 현상의 관찰은 매우 중요하다. 나노재료의 합성, 배열, 구조해석을 하나의 시료에서 진행하고, 실시간 관찰을 가능하게 하기 위하여 실리콘 기판의 마이크로가공 (microfabrication) 기술을 사용하여 나노현상을 관찰하기 위한 Nano-discovery chip을 제작하였다. 이때 실리콘 기판에 증착된 비정질 SiN 박막을 membrane 형태로 가공하여 투과전자현미경(transmission electron microscope, TEM)에서 투명한 기판으로 사용 하였으며, 기판 위에 마이크로 전극을 형성하여 나노재료의 전기적 특성을 측정하였다. 이러한 기판은 metal cluster 의 percolation 소자, 나노기공 소자, 나노선 응용소자의 나노현상의 관찰에 적용되었다. 특히 금속 클러스터의 증착에 따른 per-colation conductance 변화의 실시간 측정을 통하여 percolation threshold 소자를 제작하였고, 감도가 우수한 plasmon resonance 측정소자의 제작이 가능하였다. |
