| 학회 |
한국공업화학회 |
| 학술대회 |
2016년 봄 (05/02 ~ 05/04, 여수 엑스포 컨벤션) |
| 권호 |
20권 1호 |
| 발표분야 |
나노_포스터 |
| 제목 |
연속흐름 반응기를 이용한 ATO 박막 특성 평가 |
| 초록 |
최근 전기 · 광학적 특성이 우수한 투명 전도성 산화물(TCO, transparent conductive oxide)에 대한 수요가 증가하고 있다. 투명 전도성 산화물질 중에서도 ATO(Antimony doped Tin Oxide)는 우수한 열 및 화학적 안정성, 풍부한 매장량, 저렴한 가격 등 여러 장점 때문에 활발한 연구가 진행되고 있다. 또한 용액공정을 이용할 경우 비진공 공정 및 저온에서 합성이 가능하여 공정단가가 저렴하다는 장점이 있다. 높은 빛의 투과율과 높은 전기 전도성으로 인해 광전자 장치에서 광범위하게 활용할 수 있다. 이러한 장점으로 인해 투명전극, 디스플레이, 전기화학장치, 통전변색장치 등에 응용할 수 있다. 본 연구에서는 연속흐름 공정을 이용하여 ATO 박막을 증착하고 전기적, 광학적 특성을 분석하였다. |
| 저자 |
강태훈, 한현규, 전호영, 주명양, 하철호, 박도휘, 류시옥
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| 소속 |
영남대 |
| 키워드 |
XRD; SEM; CFR process
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| E-Mail |
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