| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2015년 봄 (05/14 ~ 05/15, 구미코) |
| 권호 | 21권 1호 |
| 발표분야 | A. 전자/반도체 재료 |
| 제목 | Mg 도핑된 ZnO 박막의 구조 및 광학 특성 |
| 초록 | 최근에 불순물 도핑된 ZnO 박막은 디스플레이와 태양전지의 투명 전극으로 응용 가능성 때문에 많은 관심을 끌고 있다. 본 연구에서는 라디오파 마그네트론 스퍼터링 방법을 사용하여 유리 기판 위에 Mg가 도핑된 ZnO(MZO) 박막을 성장시킨 후에, 420~570 oC 온도 영역에서 급속 열처리를 수행하였고, 그 박막의 구조 및 광학적 특성을 조사하였다. MgO 스퍼터링 타겟은 1 mol% MgO(순도 99.9%)로 혼합한 직경 1인치의 ZnO(순도 99.9%)로써, 고상반응법을 사용하여 합성하였다. XRD 측정 결과에 의하면, 급속 열처리를 수행한 모든 박막의 결정 구조는 육방정계이었으며, 주 회절 피크는 34.3o에서 발생한 (002) 회절 피크이었다. 여러 온도에서 급속 열처리한 MZO 박막의 광학 투과율은 파장 영역 400~1100 nm에서 평균 80% 이상이었으며 밴드갭 에너지는 3.5 eV 이었다. |
| 저자 | 방승배, 조신호 |
| 소속 | 신라대 |
| 키워드 | <P>박막; 스퍼터링; 열처리</P> |
