| 학회 |
한국공업화학회 |
| 학술대회 |
2021년 봄 (05/12 ~ 05/14, 부산 벡스코(BEXCO)) |
| 권호 |
25권 1호 |
| 발표분야 |
포스터-에너지저장·변환 |
| 제목 |
화학증착소재(precursor) 증기압 측정 및 불확도 평가 |
| 초록 |
원자층증착(ALD)은 미세한 두께 조절성, 고품질 박막 형성 등의 장점으로 최근 태양전지, 이차전지 등의 에너지 분야 적용이 확대되고 있다. ALD 공정에 사용되는 화학증착소재는 공정 효율성 및 수율 향상을 위해 증기압 등의 열물성 파악이 매우 중요하다. 그러나 대부분의 화학증착소재는 공기중에 민감하여 측정이 어렵기 때문에 이를 측정할 수 있는 기술 개발이 필요하며, 이와 함께 신뢰성 높은 데이터 처리에 대한 연구가 요구된다. 본 연구에서는 진공 시스템이 적용된 정적법 증기압 측정 장치를 통하여 Ferrocene, TEOS, TEMAHf, TEMAZr, CpZr(NMe2)3의 증기압을 측정하였다. 측정 신뢰성 향상을 위하여 시료 전처리 및 degassing을 수행하였으며, 불확도 요인 분석 및 평가를 통해 데이터 처리 신뢰성을 향상시켰다. 이는 향후 화학증착소재에 대한 고신뢰 데이터를 제공함으로써 에너지 분야에 사용되는 화학증착소재의 공정 개발 및 신규 소재 개발 등에 활용될 수 있을 것으로 기대된다. |
| 저자 |
김하영, 최은미, 맹선정, 이수연, 박지원, 윤주영
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| 소속 |
한국표준과학(연) |
| 키워드 |
화학증착소재(precursor); 원자층증착(ALD); 증기압; 불확도
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