초록 |
Indium-tin oxide(ITO) 투명전극은 높은 가시 투과도. 우수한 전기전도도. 상온에서의 화학 안정성을 가지고 있어 첨단소재로 활용된다. 이러한 ITO 투명 박막은 ITO 단위구조 변화와 제조과정에서의 온도, 산소 공공 (oxygen vacancies)의 변화 등에 의해 전기전도성이 달라진다. 또한 ITO 용액공정에서는 ITO precursor 성분 조합에 따라 전기전도성에 큰 차이를 보이기 때문에 고성능 투명전극의 효과적 연구를 위해서는 이러한 성분 조합을 최적화하는 것이 중요하다. 본 연구에서는 최적화된 용액의 성분 조합을 찾고, 여러 가지 외부 자극에 따른 전기전도도를 확인하기 위하여 면저항 측정과 Mapping, bending, IV curve 측정을 진행하였다. 외부환경이 미치는 영향이 각 성분조성을 통해 만든 전극에 미치는 영향을 확인하기 위하여 OM, SEM 등을 측정하였다. 이를 통해 용액공정기반에 최적화된 성분조성을 확보할 수 있었으며 효율적인 고성능 투명전극에 생산에 기여할 수 있으리라 기대하고 있다. |