| 초록 |
유기 전계효과 트랜지스터(OFET)의 성능 향상을 위해 유기물 반도체의 결정구조를 이해하는 것이 중요하다. 또한, 균일한 소자의 특성을 확보하기 위해 고른 결정구조를 가지는 유기물 박막이 필요하며, 이는 전하 캐리어의 이동 효율을 일정하게 유지하도록 하여 인쇄기술을 활용한 대면적 전자소자 구현에 긍정적인 영향을 줄 수 있다. 어닐링은 가열/냉각을 통해 유기물 반도체 물질의 결정성을 향상시키는 공정으로, 효과적인 결정성 개선을 위해 물질에 맞는 적절한 온도와 시간을 설정하는 것이 중요하다. 본 연구는 웨이퍼 기반 소자에서 보편적으로 사용되는 핫 플레이트 어닐링 외에, 광파를 이용하여 물질의 결정성을 향상시키는 새로운 방법을 제안한다. 위쪽에서 광파를 통해 열을 발생시키고, 열이 고르게 전달될 수 있도록 공기를 순환시켜주는 환경에서 소자를 어닐링 해 주었으며, 이와 같은 방법이 유기반도체 결정성에 어떤 영향을 미치는지 유기물 반도체 트랜지스터의 특성과 결정/표면 분석 등을 통해 확인하였다. |
