| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2008년 가을 (11/12 ~ 11/14, ICC 제주) |
| 권호 | 12권 2호 |
| 발표분야 | 환경에너지 |
| 제목 | Pilot 규모의 증류 공정을 이용한 포토레지스트 스트리퍼 폐액의 재생 연구 |
| 초록 | 반도체 웨이퍼의 습식 식각 공정에서 배출되는 폐 포토레지스트 스트리퍼(photoresist stripper)의 주성분인 NMP(N-methyl- pyrrolodione)와 BDG(Butyldiglycol)를 실험실 규모 및bench 규모의증류 장치를 이용하여 회수 분석한 결과, 정제된 NMP와 BDG는 순도 99.5% 이상, 수분 1000 ppm 이하, 색도(APHA) 50 이하, Na를 제외한 대부분의 금속성분은 1 ppb 이하로서 포토레지스트 스트리퍼 용액으로 재활용될 수 있음을 확인하였다. 또한 NMP와 BDG의 회수율은 포토레지스트 스트리퍼 폐액 A 타입의 경우 NMP 96%, BDG 53%, B 타입의 경우 NMP 93%, BDG 57%이었다. 본 발표에서는 현재 상업화를 위한 pilot 규모의 증류 공정을 이용한 재생 연구 결과를 보고할 예정이다. |
| 저자 | 구기갑1, 김재경1, 박명준2, 윤문규3, 이문용3 |
| 소속 | 1서강대, 2(주)코렉스, 3영남대 |
| 키워드 | 증류; 스트리퍼 |
