| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2011년 봄 (05/26 ~ 05/27, 제주 휘닉스 아일랜드) |
| 권호 | 17권 1호 |
| 발표분야 | 제 20회 신소재 심포지엄-CMPS Symposium |
| 제목 | 펄스레이져 증착법을 이용한 자기커패시터용 Pt/CoNiFe/BaTiO3/CoNiFe박막 제조 및 전⋅자기 특성 연구 |
| 초록 | 본 연구에서는 펄스레이져 박막 증착법(Pulsed Laser Deposition;PLD)을 이용하여 연자성의 CoNiFe (CNF) 물질과 강유전 특성의BaTiO3 (BTO) 물질을 다층박막 구조로 제작하여 약자장(H=200 Oe)에 의해 에너지를 집적 시키거나 유전상수를 조절하여 박막의 구조 변화에 따른 커패시턴스 변화를 연구하였다. 다양한 구조의 다층 박막은 Si/SiO2/Ti/Pt(111) 기판상에 PLD을 이용하여 증착하였으며, Phillp’s X-선 회절기 (XRD)를 이용하여 결정구조와 격자상수를 결정하였다. FE-SEM, TEM, AFM 및 EDS를 이용하여 박막 표면/단면의 미세구조 및 물질에 따른 조성비를 확인하였다. 자기적 특성을 위해Vibrating Sample Magnetometer (VSM)를 측정하였고, 전기적 특성은 LCR meter를 이용하여 측정하였다. |
| 저자 | 나여진, 윤성욱, 김철성, 심인보 |
| 소속 | 국민대 |
| 키워드 | PLD; 자기커패시터; 박막 |
