| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2013년 봄 (05/23 ~ 05/24, 여수 엠블호텔(THE MVL)) |
| 권호 | 19권 1호 |
| 발표분야 | B. 나노재료(Nanomaterials) |
| 제목 | MOCVD법에 의한 ZnO 성장 조건에 따른 전기적, 광학적 특성에 대한 연구 |
| 초록 | ZnO는 상온에서 약 3.3eV 정도의 넓은 띠간격 (band gap) 에너지를 갖는 n형 반도체로 전기 전도성을 나타내며, 가시광 영역에서 80% 이상의 광 투과도를 가지고 있다. ZnO의 우수한 전기적, 광학적 특성은 포토 다이오드 (photo diode), 태양전지, 디스플레이 소자의 전극, 표면 탄성과 소자 및 가스센서 등의 다양한 산업에서 광범위하게 응용되고 있다. 본 연구에서는 DEZn (diethylzinc)과 O2를 전조물질로 사용하여 metal organic chemical vapor deposition (MOCVD) 공정을 통해 다양한 조건으로 ZnO를 유리기판 및 Si (001) 기판 위에 실험을 진행하였다. 조건 변화에 따라 ZnO 필름과 나노 와이어가 형성되는 것을 확인할 수 있었으며, 이 때의 전기적 특성, 투과도, 반사도 및 결정성을 각각 Hall Effect Measurement, Spectrophotometer및 X-Ray Diffraction을 이용하여 관찰하였다. |
| 저자 | 강병훈, 김대식, 박기선, 조성찬, 이도한, 변동진 |
| 소속 | 고려대 |
| 키워드 | ZnO; MOCVD; 투과도; 반사도 |
