| 학회 |
한국고분자학회 |
| 학술대회 |
2007년 봄 (04/12 ~ 04/13, 제주 ICC) |
| 권호 |
32권 1호 |
| 발표분야 |
액정/LCD용 고분자 재료 |
| 제목 |
TFT-LCD array 절연막용 NQD 에스테르의 합성 및 특성연구 |
| 초록 |
LCD(Liquid crystal display)는 전기장 혹은 자기장과 같이 외부 영향에 따라 쉽게 재배열하는 액정의 특성을 이용한 표시소자이다. 이러한 LCD는 구동방법에 따라 수동매트릭스방식의 TN, STN-LCD와 능동매트릭스 방식의 TFT-LCD등으로 나누어진다. TFT의 일반적인 형성 공정은 초기세정, sputter 공정, Photo 공정, etch 공정, Photoresist strip 공정, 그리고 CVD공정으로 이루어 진다. 본 연구에서는 차세대 TFT 공정에 요구되는 유기절연막(Passivation) 재료로서 CF3기를 가진 Photoactive compound(PAC)들을 합성하였으며 이를 이용하여 Positive Photoresist를 제조하고 Patterning 공정 특성에 대하여 조사를 하였다. |
| 저자 |
이효정, 김효진, 조호영, 이삼종, 박은정, 류언주, 김순학, 곽기섭, 박이순
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| 소속 |
경북대 |
| 키워드 |
감광성; 포지티브; 절연막; PAC
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| E-Mail |
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