| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2009년 봄 (05/21 ~ 05/22, 무주리조트) |
| 권호 | 15권 1호 |
| 발표분야 | 반도체재료 |
| 제목 | 금속 Zn 타겟을 사용한 RF 마그네트론 리엑티브 스퍼터링 ZnO의 온도 및 산소분압에 따른 전기적 특성의 변화 |
| 초록 | ZnO는 육방정계의 Wurtzite 구조인 Ⅱ-Ⅵ족 화합물 반도체로 결정 구조적 이방성, 비 화학양론적 결합구조, 넓은 밴드갭, 가시광선 영역에서의 투명성과 높은 굴절률, 큰 압전상수, 강한 acoutooptic, 비선형 광학계수를 가지며 가시광 영역에서 80% 이상의 광 투과도를 가지고 있다. ZnO 결정을 박막화해서 필터 등의 SAW 디바이스, 산화 또는 환원가스의 센서(gas sensor), 발광다이오드 및 태양전지(solar cell), 디스플레이 소자의 전극 등 산업에 광범위하게 응용되고 있다. 본 연구에서는 금속 Zn 타겟(99.999%)을 사용한 RF 마그네트론 리엑티브 스퍼터링법(RF Magnetron Reactive Sputtering)을 이용하여 ZnO를 산소분압과 온도에 따라 증착하여, 증착된 ZnO 박막의 전기적 특성의 변화를 관찰하였다. ZnO 박막은 Hall측정을 통하여 전기적 특성의 변화를 관찰하였으며, XRD(X-Ray Diffractrometry) 측정을 통해 결정구조 및 방향성을 확인하였다. |
| 저자 | 김영석, 장삼석, 이승무, 박지훈, 변동진 |
| 소속 | 고려대 |
| 키워드 | ZnO; Reactive Sputtering; metal Zn |
