초록 |
Y3Fe5O12(YIG)는 마이크로 주파수 영역에서 매우 작은 감쇄상수를 가지고 있고 전기적인 절연체 특성을 가지고 있어 고주파 응용을 위한 연구가 꾸준히 연구되고 있다. 고주파에서 손실이 매우 작은 전자기적 특성과 Faraday 회전이 큰 자기광학적 특성 때문에 isolator, circulator, waveguide 등 고주파, 광통신 디바이스 등으로 이용되고 있으며, 특히 spin Seebeck 효과가 처음 발견된 이후로는 열전소자의 소재로도 활발히 연구되고 있다. 하지만 박막의 두께나 결정립의 크기가 나노미터 영역으로 작아질 경우 YIG의 감쇄상수가 급격히 커지는 문제점을 가지고 있다. 본 연구에서는 다양한 YIG 박막 제조방법 중 타겟 물질의 조성을 쉽게 기판에 옮길 수 있는 Pulsed laser deposition(PLD) 방법을 이용하여 YIG 박막을 제조하고, 제조된 YIG의 박막의 성막조건에 따른 구조적, 자기적 특성을 XRD, SEM, AFM, VSM, MOKE, FMR 분석을 통해 연구하였다. |