| 초록 |
EBSD는 금속 재료의 미시집합조직 및 미세조직을 동시에 정량적으로 분석할 수 있어 미세조직 분석 방법으로 널리 사용되고 있다. 금속 재료의 EBSD 시편 준비는 콜로이달 실리카를 이용한 기계적 연마법과 화학 약품을 이용한 전해연마법이 널리 사용되고 있고, 대부분의 벌크 금속재료는 위의 두 가지 방법으로 시편 준비가 가능하다. 그러나 산화되기 쉬운 마그네슘이나 알루미늄, TRIP강과 같이 복합상으로 이루어진 금속 재료, 강가공으로 인해 내부가 심하게 변형된 재료, 이종 소재가 층상으로 이루어진 재료 등은 콜로이달 실리카 연마법이나 전해연마법으로는 산화막이 생기거나 표면 잔류 변형층을 효과적으로 제거하기 어렵다 .따라서 깨끗한 Kikuchi 패턴을 얻기 힘들고 정량적 EBSD 분석이 쉽지 않다. 이런 경우 이온밀링을 이용하면 표면의 산화막과 잔류 변형층을 비교적 쉽게 제거할 수 있으며, 복합상 층상 구조를 가진 재료에서도 평활한 표면을 유지하면서 연마를 수행할 수 있어 EBSD 분석이 용이하다. 또한 이온밀링은 EBSD 시편 방법 중 하나인 FIB법에 비해 경제적으로 쉽게 사용할 수 있고 습식법인 콜로이달 실리카 연마법이나 전해연마법에 비해 시편 처리 후 부식이 쉽게 일어나지 않는다는 장점도 있다. 본 연구에서는 이온밀링을 이용한 다양한 금속 재료에서의 EBSD 시편 준비 방법과 정량적 EBSD 분석 예시를 소개하려고 한다. |
