| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2010년 봄 (05/13 ~ 05/14, 삼척 팰리스 호텔) |
| 권호 |
16권 1호 |
| 발표분야 |
C. Energy and the Environment(에너지 및 환경재료) |
| 제목 |
실리콘 양자점 초격자 구조내의 Si-O 계면 특성 연구 |
| 초록 |
RF 마그네트론 스퍼터링을 사용해 실리콘 리치 SiOx 층과SiO2 메트릭스 층을 교차 증착한 후, 800~1100℃ 열처리하여 실리콘 양자점 초격자 구조를 제조하였다. 실리콘 양자점 초격자 구조의 특성을 이해하고 제어하려면 실리콘 양자점과 메트릭스 물질간 계면 특성에 대한 연구가 필요하다. 본 연구에서는 열처리 조건에 따른 실리콘 리치 층내 Si-O결합 특성을 분석하기 위해, X-선 광전자 분광법(XPS)과 PL 분광법 (PL)을 사용하였으며, X-선 회절법 (XRD), 라만 분광법, 푸리에 변환 적외선 분광법(FTIR) 및 투과 전자현미경 (TEM)을 통해 열처리 온도에 따른 구조 변화를 확인하였다. 또한, 암∙광 전도도 측정법을 사용하여 실리콘 양자점 초격자 구조의 전기적 특성을 분석하였다. |
| 저자 |
박영빈1, 문지현2, 이정철2, 김신호1, 하린1, 김양도1
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| 소속 |
1부산대, 2한국에너지기술(연) |
| 키워드 |
태양전지; 양자점; 초격자 구조
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