화학공학소재연구정보센터
학회 한국재료학회
학술대회 2010년 가을 (11/11 ~ 11/12, 무주리조트)
권호 16권 2호
발표분야 C. Energy and the Environment Technology(에너지 및 환경재료)
제목 규산염계 첨가물에 따른 단결정 실리콘 태양전지용 텍스쳐링 용액의 특성 연구
초록 단결정 실리콘 기판에서 알칼리성 용액에 의한 이방성 습식 식각을 이용한 표면 텍스쳐링 공정은 태양전지의 표면에 입사되는 빛의 양을 증가시켜 효율을 증대시키는 방법으로 반사방지막과 함께 중요한 역할을 하고 있다. 텍스쳐링은 일반적으로 마스크 없이 진행되는 공정이기 때문에 생성되는 피라미드 형상의 크기가 무작위로 형성된다. 이를 방지하고 균일한 크기의 피라미드를 얻기 위한 방법으로 피라미드의 크기를 줄이는 방법이 있다. 이는 크기를 줄임으로써 편차의 절대적인 크기도 줄이는 방법이다. 본 연구에서는 텍스쳐링된 피라미드 형상을 작은 크기로 만들기 위하여 기존의 용액에 새로운 용액을 사용한 기판의 표면 형상을 비교해 보았다. 식각을 위한 알칼리 용액은 수산화칼륨(potassium hydroxide, KOH) 수용액과 이소프로판올(isopropanol, IPA)의 혼합용액을 사용하였으며, 기존의 수산화칼륨-이소프로판올 혼합용액에 규산염계 화합물을 첨가한 용액을 농도별로 나누어 실험한 후 각각 특성을 비교하였다. 표면 형상은 주사전자현미경(scanning electron microscope)으로 확인하였으며, 반사도는 분광광도계(UV-Vis-NIR spectrophotometer)로 평가하였다. 또한 마이크로미터기(digimatic micrometer)에 의한 두께 측정으로 식각률을 정리하였다.
저자 강병준, 탁성주, 이승훈, 박성은, 이종한, 강민구, 최수영, 김동환
소속 고려대
키워드 실리콘 태양전지; 텍스쳐링; 피라미드 크기
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