| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2008년 봄 (05/22 ~ 05/23, 상록리조트) |
| 권호 | 14권 1호 |
| 발표분야 | 전자재료 |
| 제목 | RF MEMS 스위치용 접촉금속의 개발 |
| 초록 | RF MEMS 스위치의 효과적인 설계를 위해서 접촉 지점은 낮은 접촉저항과 높은 신뢰도를 가지고 있어야 한다. 이러한 조건을 만족하기 위해 접촉 지점에 사용되는 금속은 낮은 전기저항과 높은 경도를 가지고 있어야 한다. 현재 가장 널리 쓰이느 RF MEMS 스위치용 금속은 금이다. 그러나 금은 낮은 경도로 인하여 접촉 시 마모와 밀착이 일어나 신뢰도에 문제가 생긴다. 그러므로 금을 대신할 RF MEMS 스위치용 접촉물질을 찾기한 노력이 보다 높은 강도를 가지는 금속을 중심으로 이루어 지고 있다. 본 연구에서는 이러한 노력의 일환으로 백금계 금속과 금과의 합금 시스템을 만들고 있으며 그들의 전기적, 기계적 특성 측정과 분석 결과를 이곳에 제시한다. |
| 저자 | 이혁재 |
| 소속 | 국립안동대 |
| 키워드 | RF; MEMS; 접촉금속 |
