화학공학소재연구정보센터
학회 한국고분자학회
학술대회 2005년 가을 (10/13 ~ 10/14, 제주 ICC)
권호 30권 2호
발표분야 기능성 고분자
제목 PECVD를 이용한 gas barrier 막의 접착력과 내약품성에 관한 연구
초록 최근에 flexible display에 대한 연구가 활발히 진행됨에 따라 플라스틱 기판에 대한 연구도 여러 곳에서 진행되고 있다. 플라스틱 기판에서 요구되는 물성으로는 수증기 투과율, 산소 투과율, 광투과율, 치수변화율 등이 있으며, 여기서 가장 핵심이 되는 물성은 수증기와 산소의 투과율이라고 할 수 있다. 즉, 플라스틱 기판의 연구에서는 gas barrier막의 기능이 매우 중요하며, gas barrier막의 접착력, 내약품성, 내스크래치성 등이 확보되어야 한다.

본 연구에서는 PECVD를 활용하여, 고분자 기판 위에 gas barrier 막으로써 무기막을 형성하였으며, 플라즈마의 전처리/후처리 및 무기막의 adhesion을 위한 coating layer에 대한 gas barrier막의 접착력과 몇몇 solvent에 의한 무기막의 박리여부를 관찰하였다. Gas barrier막의 막질은 원소분석과 IR, XPS 등을 이용하여 분석을 진행하였으며, SEM을 통해서 표면 상태를 추가로 관찰하였다. 또한 MOCON 장비를 이용해서 gas barrier 특성을 분석하였다.

그림 1은 gas barrier 층을 형성하기 전에 표면에 플라즈마 처리를 실시한 것으로 시간에 대한 표면형태변화를 SEM을 이용해서 나타낸 것이다. 시간에 따라서 표면의 거칠기가 점점 증가하게 되었고, 이러한 영향이 gas barrier층의 접착력에 직접적인 영향을 주는 것으로 확인되었다.




그림 1. 플라즈마 처리 시간에 따른 플라스틱 기판의 표면형태 변화.
저자 장인배1, 최승렬2, 김선욱2
소속 1(주)삼양사 중앙(연), 2(주) 삼양사 중앙(연)
키워드 PECVD; gas barrier property
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