화학공학소재연구정보센터
학회 한국고분자학회
학술대회 2007년 봄 (04/12 ~ 04/13, 제주 ICC)
권호 32권 1호
발표분야 전자/에너지 재료와 고분자 산업(산학협동위원회)
제목 Passivation effects of pentacene field-effect transistors
초록 펜타센을 이용한 유기박막트랜지스터는 현재 amorphous Si-TFT 수준의 우수한 전하이동도를 보이고 있지만, 유기반도체 물질은 서로간의 약한 van der Waals 인력에 의해 결정성을 이루기 때문에 산소나 수분 등과 물리적, 화학적으로 반응하여 채널이나 게이트 절연막 계면에 trap state을 만들게 되며, 이들로 인해 소자의 성능이 급격히 저하된다. 이에 본 연구에서는 펜타센 박막트랜지스터를 제조하여 전하이동도의 온도의존성 실험을 통해 소자에 도입된 trap state를 평가하여 안정성을 분석하였다. 이를 바탕으로 산소 및 수분을 차단할 수 있는 AlOx 박막을 원자층 증착법을 통해 다양한 게이트 절연막을 가진 펜타센 박막트랜지스터에 도입하여 성능저하를 최소화하면서 장시간 안정한 성능지수를 구현할 수 있는 소자를 제조하여 그 특성을 평가하였다.
저자 전하영, 신권우, 양상윤, 박찬언
소속 포항공과대
키워드 passivation; pentacene; OFET
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