화학공학소재연구정보센터
학회 한국고분자학회
학술대회 2012년 봄 (04/12 ~ 04/13, 대전컨벤션센터)
권호 37권 1호
발표분야 고분자가공/복합재료
제목 Preparation and Characterization of Flexible Display Plastic Substrates with Transparent Conductive Oxide
초록 플렉시블 디스플레이는 기존 Flat Panel Display(FPD)와 비교하여 가볍고 휴대하기 좋으며, 깨지지 않으면서 변형이 자유로워 차세대 디스플레이로 주목받고 있다. 본 연구에서는 광투과도가 높은 플라스틱 기판 상에 수분 및 산소 투과방지막(SiOX, SiON)을 플라스틱 기판에 직접 응용하고자 PECVD 방법을 이용한 상온 증착을 시도하였다. 투명 전도성 박막인 ITO는 In2O3-10wt% SnO2 타겟을 사용하여 Dual magnetron sputtering 방법으로 상온 증착하였다. 제작된 복합기판은 광투과율 및 표면의 상태를 알아보기 위해 UV-VIS, SEM, AFM 등을 이용하였다. 제작된 복합기판은 플렉시블 LCD 소자의 상∙하 기판으로 사용하기 위해 제작되었으며, 플렉시블 LCD 소자를 제작하여 구동하였다. 복합기판의 반복적인 유연성 및 내구성을 평가하기 위해 고안된 반복 굽힘 시험(Bending tester) 후, 복합기판의 표면 저항 및 전도특성 변화를 관찰하였다.
저자 정관호1, 김기현2, 최길영3, 신세문1
소속 1한국화학(연), 2충남대, 3한국전자통신(연)
키워드 Flexible Display; Plastic Substrates; ITO; PECVD; Bending test
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