| 초록 |
Indium Tin Oxide (ITO)는 높은 가시광 투과도와 근적외선 반사도, 우수한 전기전도도, 상온에서의 화학적 안정성을 가지고 있어 투명전극으로 가장 널리 이용되고 있다. 특히 용액 공정을 통한 제조 과정은 spin-coater를 활용하여 ITO precursor 용액을Polyimide 유연 기판 위에 코팅 시킨 후 여러 방법 및 어닐링 과정을 통해 효과적인 전기 전도도와 최소화된 저항을 얻는다. ITO Precursor 용액은 In(NO3)3, SnF2, InCl3, SnCl4를 활용하였고, 각 용액 별 조합에 따른 ITO 코팅과 어닐링 공정 조합을 평가하여 최적의 ITO 투명전극의 전기전도도를 나타내는 precursor 용액 조합을 도출해 냈으며, 각 precursor 용액과 어닐링 공정에 따른 표면 특성을 평가하였다. ITO의 전기적 특성을 확인하기 위하여 면저항 측정 및 투과도 측정을 진행하였고, 증착 표면을 확인하기 위하여 AFM을 사용하였으며 또한 TGA를 사용하여 각 조합별 특성을 확인하였다. |
