| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2017년 봄 (04/26 ~ 04/28, ICC 제주) |
| 권호 | 23권 1호, p.259 |
| 발표분야 | 공정시스템 |
| 제목 | Si 증착 최적화에 모노실란을 사용한 지멘스 공법 |
| 초록 | 세계적으로 에너지 문제는 매년 대두되고 있다. 그래서 청정, 그린에너지에 대한 관심은 나날이 높아지고 있는데 이 중 태양광 산업이 주목받고 있다. 태양광 연구 중에서도 박막의 실리콘에 대한 연구이다. 본 연구는 지멘스 공법을 이용하여 Rod 형태의 폴리실리콘을 배스 방식으로 생산하게 된다. 폴리실리콘의 원료는 모노실란을 사용하며 rod 내에 모노실란이 투입량을 조절하여 효과적인 생산을 기대하려 한다. 지멘스 공정은 투자비가 많이 들어가므로 본 연구는 반응을 시뮬레이션한다. 시뮬레이션을 통해 우선 모노실란의 투입량을 조절하여 rod에 증착되는 폴리실리콘의 형상을 확인한다. 모노실란의 투입량을 조절하면서 최적의 폴리실리콘을 증착 시키는 것을 확인함으로써 고품질의 폴리실리콘을 생산할 수 있는 기대효과를 높일 수 있다. |
| 저자 | 정현준, 정재학, 조민제, 조나영, 채강호 |
| 소속 | 영남대 |
| 키워드 | 공정최적화 |
| 원문파일 | 초록 보기 |
