| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 1998년 가을 (10/23 ~ 10/24, 조선대학교) |
| 권호 | 4권 2호, p.3737 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | 포지티브형 포토레지스트의 젤층 현상 모델 |
| 초록 | 본연구는 레지스트의 용해 메커니즘에 젤층을 도입함으로써 레지스트 표면 현상속도 지연효과에 대한 새로운 해석이 가능하게 하였으며, 이후의 젤층을 고려하는 실험들에 이론적 기반을 제공하였다. |
| 저자 | 조준연, 최세진, 이승종 |
| 소속 | 서울대 |
| 키워드 | Development; Surface Rate Retardation; Gel Layer |
| , | |
| 원문파일 | 초록 보기 |
