| 학회 |
한국공업화학회 |
| 학술대회 |
2013년 봄 (05/01 ~ 05/03, ICC JEJU) |
| 권호 |
17권 1호 |
| 발표분야 |
포스터-에너지저장변환 |
| 제목 |
염료감응태양전지 효율 향상을 위한 PEALD와 ALD공정 연구 |
| 초록 |
본 연구에서는 Dye Sensitized Solar Cell(DSSC) TiO2 광전극의 전자 재결합 방지 역활로 사용되어지는 Al2O3 shell의 형성기술인 PEALD와 ALD 공정에 대해서 고찰해 보았다. PEALD와 ALD 공정에서 Al2O3 shell을 형성하기 위해서 전구체로 TMA을 사용하였고 Reactant로 각 각 PEALD는 O2 plasma, ALD는 H2O를 사용하였다. 각 공정 중에서 발생할 수 있는 파티클을 ISPM(in-situ particle moniter)으로 관측하였고 그로 인한 TiO2 광전극에 미치는 영향에 대해서 조사하였다. |
| 저자 |
강고루1, 차덕준2, 김진태1, 윤주영1
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| 소속 |
1한국표준과학(연), 2군산대 |
| 키워드 |
DSSC; Core-shell; Al2O3; PEALD; ALD
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| E-Mail |
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