| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2009년 가을 (11/05 ~ 11/06, 포항공과대학교) |
| 권호 |
15권 2호 |
| 발표분야 |
C. Energy and the Environment(에너지 및 환경재료) |
| 제목 |
실리콘의 정제 효과에 미치는 반복 플라즈마 용해의 영향 |
| 초록 |
태양전지 산업의 급속한 발전에 따라 고순도 실리콘을 경제적으로 제조하려는 노력이 경주되고 있다. 이중 금속 실리콘(MG)의 정제에 의한 태양전지 실리콘(SoG) 제조에 관한 연구가 더욱 더 주목받고 있다. 본 연구에서는 고순도 금속 실리콘 정제 연구의 일환으로 금속 실리콘에 대한 플라즈마 용해시 불순물 정제 가능성에 대한 기초연구를 수행하였다. 먼저 4N 급 Ar 금속 실리콘을 출발물질로 하여 반복 용해횟수(용해시간)를 달리하여 200g 급 Si button을 제조하였다. 이후 화학적 분석법으로 B, P 및 미량 금속 불순물 평가를 실시하였으며, 이로부터 Ar 플라즈마의 정제 효과를 분석하고자 하였다. |
| 저자 |
최국선1, 임재원1, 조성욱1, 오정민2, 김준수3, 하범용1, 김동호4
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| 소속 |
1한국지질자원(연), 2한국지질자웡(연), 3충남대, 4(주)이노베이션실리콘 |
| 키워드 |
실리콘; 플라즈마 정련; 태양전지
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