| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2021년 가을 (11/24 ~ 11/26, 경주 라한호텔) |
| 권호 |
27권 2호 |
| 발표분야 |
C. 에너지 재료 분과 |
| 제목 |
RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 α-Fe2O3 박막의 제조 및 물성 연구 |
| 초록 |
적철광(hematite Fe2O3, α-Fe2O3)은 n-형 반도체 특성을 가지며, 광전기 화학(photoelectron chemical) 및 광전지(photovoltaic) 소자의 응용 분야에 있어 매우 큰 잠재력을 가진 소재입니다. 가시광선 영역에서 α-Fe2O3의 밴드 갭(band gap)은 2.2 eV 정도이며, 높은 화학적 안정성(chemical stability)과 무-독성(non-toxicity) 및 풍부한 자원 매장량으로 원소재의 단가가 저렴한 특징이 있습니다. α-Fe2O3는 태양전지(solar cells)를 비롯한 가스 센서(gas sensors), 자기 기록(magnetic recording), 리튬-이온 배터리(lithium-ion battery) 및 촉매 공정(catalysis processes)에 폭넓게 적용됩니다. α-Fe2O3의 반도체적 특성은 스퍼터링 공정의 주요 실험적 변수인 증착 압력(deposition pressure), 기판 온도(substrate temperature), 가스 유량 비(gas flow ratio) 및 기판과 타겟과의 거리(substrate-to-target distance) 등을 조정함으로써 개선할 수 있습니다. 본 연구에서는 RF 마그네트론 스퍼터링 방법으로 α-Fe2O3 박막을 유리기판 상에 제조하였습니다. 상온 및 기판온도 150 ℃의 조건에서 제조 된 α-Fe2O3 박막의 증착 압력 변화에 따른 구조적, 화학적 및 광학적 특성을 조사하였습니다. |
| 저자 |
한태구, 박정환, 김민성, 김나경, 남기원, 황동현, 손창식
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| 소속 |
신라대 |
| 키워드 |
Fe<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>; Thin film; Sputtering; Deposition pressure; Physical property
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