화학공학소재연구정보센터
학회 한국재료학회
학술대회 2009년 가을 (11/05 ~ 11/06, 포항공과대학교)
권호 15권 2호
발표분야 H. Advanced Coating Techniques(첨단 코팅 기술)
제목 Oxygen and water vapor barrier properties of PET films coated with multi-layered SiOxCy(-H) films at atmospheric pressure
초록  실리콘산화막은 구조가 치밀하고 경도가 높고 가시광선의 투과도가 높으며, 산소 및 수분의 배리어 특성이 우수하여 OLED에 사용되는 필름의 배리어막 뿐만아니라 식품포장용 필름의 배리어막으로서의 사용가능성이 매우 높은 물질이다. 그러나 SiO2막은 연성이 매우 낮아 기판의 휨과 같은 변형에 의해 쉽게 갈라지고 박리되는 문제가 있어 배리어로서의 사용에 제한적이다. 반면 유기실록산을 사용하여 플라즈마 폴리머합성에 의해 코팅되는 SiOxCy(-H)막은 다량의 탄소와 수소를 함유하며 많은 핀홀이 존재하여 배리어로서의 성능은 SiO2막보다 낮으나 연성이 우수하여 변형에 의해 쉽게 크랙이 발생하지 않는 장점이 있다.  
 본 연구에서는 배리어 특성이 우수한 SiO2막과 변형에 대한 크랙발생 저항성이 큰 SiOxCy(-H)막을 다층으로 코팅하여 산소 및 수분 배리어로서의 특성을 평가하고자 하였다.  
합성에 사용한 HMCTSO와 산소가스의 비율을 조절하여 SiOxCy(-H)막의 조성을 변화시켰다. 또한  다층을 이루는 SiO2유사막과 SiOxCy(-H)막의 두께변화가 배리어 특성에 미치는 영향을 평가하였다. 다층으로 코팅된 PET의 굽힘에 따른 박막의 크랙발생여부를 주사전자현미경을 이용하여 분석하고, 산소 및 수분 투과량과의 관계를 평가하고 고찰하였다.
저자 김기택, 노아미, 김윤기
소속 한밭대
키워드 대기압; 유전체배리어방전(DBD); 산소 수분 배리어; 폴리머합성; 실리콘산화막
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