| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2009년 가을 (11/05 ~ 11/06, 포항공과대학교) |
| 권호 | 15권 2호 |
| 발표분야 | C. Energy and the Environment(에너지 및 환경재료) |
| 제목 | 금속 Ca에 의한 타이타늄의 탈산 |
| 초록 | 최근 순수한 타이타늄 및 그 합금소재는, 다양한 우주 항공부품소재에 이용되어 극한환경에서의 안정성 확보를 위해 가능한 고품질이 요구되고 있을 뿐만 아니라, 특히 각종 전자부품의 VLSI용 반도체소자의 박막제조를 위한 sputtering targets로 사용되어 배선재료 및 gate 전극재(TiSix, TiN, WTi 등) 등에 이용되기 시작하면서, 전자부품소자의 결함감소는 물론, 특성을 더욱 향상시키기 위해 5-6N정도의 초고순도화가 요구되고 있다. 이러한 초고순도 금속 타이타늄을 제조하기 위해서는 천이금속(Fe, Cr, Ni 등) 및 방사성원소(U, Th) 등의 불순물보다도 용존 산소(O)의 제거가 더욱 어려운 것으로 알려져 있다. 따라서 본 연구는 초고순도 타이타늄 금속을 제조하기 위한 일환으로, kroll법이나 hunter 법으로 제조된 저급의 sponge Ti(혹은 Ti분말) 중의 산소 제거를 위해 금속 Ca을 사용하여 아래와 같은 탈산(deoxidation) 및 수세(washing)반응에 관한 기초실험 및 이론적 고찰을 행하였으며, 상세한 실험결과는 당일 게재하고자 한다. (1)탈산반응 : Ti-O(ingot) + XCa(excess) → Ti ingot + CaO + Ca(excess) (2)수세반응 : Ti ingot + CaO + Ca(excess) + H2O → Ti ingot + 2Ca(OH)2 |
| 저자 | 서동석1, 박건우1, 김용찬2, 남궁정2, 김문철2, 송창빈1 |
| 소속 | 1공주대, 2포항산업과학(연) |
| 키워드 | 타이타늄(Titanium); 칼슘(Calcium); 고순도(High purification); 탈산(Deoxidation); 수세(Washing) |
