| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 1998년 가을 (10/23 ~ 10/24, 조선대학교) |
| 권호 | 4권 2호, p.4009 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | 대기압 플라즈마 제트를 이용한 다이아몬드의 고속증착 |
| 초록 | 다이아몬드는 대기압상태에서 플라즈마제트를 이용하여 메탄과 수소의 화학반응에 의 해몰리브덴기판위에 합성된다. 다이아몬드의 높은 성장속도와 양질의 결정성을 위한 합성조건을결정하기 위해수소에대한 메탄의 유량비와 기판온도를 변화시켜 연구를 수행하였다. 그결과수소에 대한 메탄의유량비가 4%, 기판온도가 970도 일때 양질의 다이아몬드를 합성할수 있다.그러나 메탄의 유량 비가 증가할수록 다이아몬드 필름은 2차 핵생성을 갖는 cubic형태의(100)면을갖는 결정성을 나타내었다. 다이아몬드 필름의 두께는 수소에대한 메탄의 농도가4%인조건하에서온도를 변화시키면서 측정되었고 기판온도가 1000도 일때 거의 시간당180마이크로미터의 증착속도로 증착되었다. |
| 저자 | 윤종선, 박동화 |
| 소속 | 인하대 |
| 키워드 | Diamond; High growth rate |
| 원문파일 | 초록 보기 |
