| 학회 |
한국공업화학회 |
| 학술대회 |
2010년 가을 (10/27 ~ 10/29, 대전컨벤션센터) |
| 권호 |
14권 2호 |
| 발표분야 |
촉매 |
| 제목 |
태양전지 Poly-Si 용 삼염화실란(SiHCl3, TCS) 제조를 위한 사염화실란(SiCl4, STC)의 수소화 반응 기술 |
| 초록 |
Siemens 또는 유동층 반응기에서 poly-Si을 제조한 후 발생되는 사염화실란을 삼염화실란으로 전환하는 기술에 대해 많은 연구자들의 관심이 모아지고 있다. 지금까지 알려진 사염화 전환기술은 1000도 이상에서 수소와 함께 반응하는 clean process와 500~600도 범위에서 수소 및 금속 실리콘과 반응하는 dirty process 가 알려진다. Dirty process는 금속 실리콘의 전이금속에 의해 오염된 TCS의 정제 비용이 많다는 단점이 있고, clean process는 고온 반응 진행에 따른 경제적 문제가 지적되고 있다. 본 연구에서는 700도 이하 저온 반응에서 금속 실리콘이 없이 안정한 촉매를 사용하여 삼염화실란을 생산하는 사염화실란의 수소화 반응연구를 수행하였다. 최적화된 반응조건에서 삼염화실란 평형 수율의 90% 이상을 얻었고, 반응해석 연구를 통해 STC의 수소화 반응 경로를 이해하고자 하였다. |
| 저자 |
이주영1, 강나영1, 전민구1, 김희영1, 박용기1, 윤경병2, 최원춘1
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| 소속 |
1한국화학(연), 2서강대 |
| 키워드 |
hydrodechlorination; silicon tetrachloride; trichlorosilane
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| E-Mail |
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