| 학회 |
한국공업화학회 |
| 학술대회 |
2009년 봄 (04/15 ~ 04/17, 호텔인터불고(대구)) |
| 권호 |
13권 1호 |
| 발표분야 |
무기재료 |
| 제목 |
CFR법으로 ZTO 박막을 제조하기 위한 전구체와 침전제의 농도의존성 및 최적화 |
| 초록 |
본 연구에서는 CFR(continue flow reaction)법에 의해서 실리콘 및 사파이어 기판 상에 ZnO 박막을 성장시켰다. CFR법에 의한 이종 금속산화물 박막을 제조하기 위하여 사용되는 전구체와 침전제의 농도 의존성을 조사하기 위하여 Zn와 Sn이 함유된 전구체와 결정생성 및 성장을 위한 침전제의 몰비를 변화시켜 액상에서 반응특성을 조사하였다. 각각의 전구체와 침전제의 혼합비에 따른 pH변화와 결정입자의 크기 및 형상 등을 조사하여 이종 금속산화물의 균일한 박막성장에 필요한 농도조건을 찾았다. 또한 전구체와 침전제의 혼합비율을 고정한 상태에서 반응시간에 따른 결정성장특성을 조사하여 이종 금속산화물 박막제조를 위한 CFR반응기내의 최적 체류시간이 조사되었다. 이와 같은 실험으로부터 본 연구에서는 Zn-Sn계 이종 금속산화물 박막을 제조하기 위한 최적 용액의 농도 및 체류시간을 선정할 수 있었다. |
| 저자 |
이선이, 이태진, 박노국, 윤석훈
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| 소속 |
영남대 |
| 키워드 |
CFR; pH변화; Zn-Sn계
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