| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2021년 봄 (05/12 ~ 05/14, 광주 김대중컨벤션센터) |
| 권호 | 27권 1호 |
| 발표분야 | A. 전자/반도체 재료 분과 |
| 제목 | Recovery and purification for indium metal using by-product |
| 초록 | 본 연구에서는 공정 폐기물로부터 전해정련법과 Czochralski(CZ)법을 이용하여 반도체 원료용 고순도 인듐 금속을 제작하였다. CZ장치는 고순도 환경을 위해 400 class 이하의 클린룸에서 가동 하였고, 소스 도가니에는 미네랄 오일을 이용해서 금속의 산화를 제어하였다. 결정성장을 위한 seed 부분은 인듐결정화를 위해 냉각을 실시하였다. 고순도화 과정을 거친 인듐 금속은 Glow discharge mass spectrometer(GD-MS)를 이용하여, 6N급 고순도 인듐 금속의 정량분석법을 연구하였다. GD-MS를 이용한 정량분석에서는 relative sensitivity factors(RSF)를 이용하는데, 각 원소의 RSF는 알루미늄 matrix에 인듐이 불순물로 함유된 표준시료를 이용하였다. 알루미늄 matrix CRM을 분석하여 계산된 인듐의 RSF는 2.45이고, 인듐 뿐만 아니라 이 표준시료를 이용하면 Mg, Si, Ti, V, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn, Zr, Ag, Cd, Sn, Pb, Bi, 총 17개원소에 대해 정량분석이 가능하다. 인듐 정량 분석 시에는 인듐의 RSF=1로 나머지 원소에 대해서도 같은 비율로 변환하여 RSF를 계산하여 적용하였다. 마지막으로 CZ방법을 이용하여 결정화한 인듐금속의 분석에서는 불순물 원소의 총합이 1ppm이하로 인듐의 최종 순도는 약 99.99994%(6N)임을 확인하였다. |
| 저자 | 양재열, 윤재식 |
| 소속 | 한국기초과학지원(연) |
| 키워드 | <P>인듐; 회수; 고순도화</P> |
