| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2001년 가을 (10/19 ~ 10/20, 한밭대학교) |
| 권호 | 7권 2호, p.5091 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | 수열합성법에 의해 제조된 CeO2의 나노 입자 제어 |
| 초록 | 본 연구에서는 수열합성법을 이용하여 여러 가지 조건하에서 세리아 나노 입자를 제조하고 생성되어진 nano-size 입자의 결정성을 XRD를 사용하여 비교/평가하였으며, 적당량의 sulfate 이온을 첨가하여 세리아 입자를 적당한 크기로 제어함으로써. 크기와 기계적 물성이 우수한 CMP용 연마 입자를 제조하였다. |
| 저자 | 오명환, 이대원, 이관영 |
| 소속 | 고려대 |
| 키워드 | CMP; Abrasive particles; Ceria; Hydrothermal Method |
| 원문파일 | 초록 보기 |
