| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2017년 봄 (05/10 ~ 05/12, 광주 김대중컨벤센센터(Kimdaejung Convention Center)) |
| 권호 | 21권 1호 |
| 발표분야 | 정밀화학 |
| 제목 | Photoacid generator의 중간체 합성 및 정제 |
| 초록 | 광산발생제 (photoacid generator)는 빛에 의해 분해되어 산을 발생시키는 물질로서 ArF급 반도체를 제조하기 위해서는 이의 개발이 시급한 실정이다. DFSA는 광산발생제를 합성하는 핵심적인 중간체인데 합성이 매우 어려워 가격이 매우 고가이다. 또한 최종 생성물에는 NaCl 등 무기염이 포함되어 있어 반도체 공정에 사용하기 위해서는 DFSA의 정제가 매우 중요하다. 본 연구에서는 광산 발생제의 핵심 중간체인 DFSA를 합성하는데 있어서 반응물의 몰 비 및 반응물 투입 방법 등 여러 가지 반응조건이 생성물의 수율에 미치는 영향을 살펴보았다. 또한 DFSA와 NaCl의 혼합물로부터 DFSA를 선택적으로 추출하기 위한 실험을 수행하였다. 반응의 진행은 1H NMR로 측정하였고 무기 불순물은 ICP-OES 및 Ion Chromatography로 분석하였다. |
| 저자 | 양주희, 이철우 |
| 소속 | 한밭대 |
| 키워드 | 공정합성; 광산발생제; 정제; DFSA |
