| 초록 |
최근 나노기술, 전자산업 등의 응용분야에 다양하게 확대되고 있는 전기도금 공정 기술은 개개의 수요분야 별로 전문화되어 가고 있는 추세이다. 방사성동위원소인 63Ni은 장수명 핵종으로서 반감기가 100년에 이르며, 베타선(β-emitter) 붕괴를 하는 것으로 알려져 있다. 이때의 방출 에너지 준위가 반도체 기판에 손상을 주지 않는 범위 내 이기 때문에, 이를 이용하여 nano-nuclear battery에도 사용이 가능하다. 63Ni을 이용하여 전기도금공정으로 Ni 전기도금 박막을 제조하려는 연구는 63Ni이 포함된 염이 상업적으로 판매되지 않기 때문에 많은 어려움이 있다. 이에 본 연구에서는 63Ni의 전기도금이 일반 Ni을 사용한 전기도금공정과 동일한 방법으로 제조 할 수 있는 점에 착안하여 금속 Ni 분말을 적절한 산(acid)을 이용하여 용해한 후 Ni 농도 및 첨가제 함량의 전기도금공정 변수가 Ni 필름 특성에 미치는 연구를 수행 하였다. 본 그룹은 선행 연구에 의해 최적의 전류밀도 조건 및 pH 조건을 확립 하였으며, 본 연구에서는 Ni 농도 변화와 saccharin 함량 변화에 따른 Ni 박막 제조 공정의 전류효율 및 Ni 박막의 잔류응력, 미세조직, 표면형상에 미치는 영향을 비교 분석하였다. |
