| 학회 |
한국고분자학회 |
| 학술대회 |
2007년 가을 (10/11 ~ 10/12, 일산킨텍스) |
| 권호 |
32권 2호 |
| 발표분야 |
나노구조제어 및 분석기술 |
| 제목 |
Novel self-assembled nanostructure in block copolymer films formed on incommensurate surface patterns |
| 초록 |
새롭고 유용한 나노패터닝 공정을 확립하는 것은 나노테크롤로지에서 중요한 이슈이다. 특히, 분자단위의 자기조립은 다른 방법들에 비해 매우 작은 스케일의 패턴과 병렬식 공정, 그리고 다양한 3D 구조의 구현이 가능하다는 장점을 가지고 있다. 본 연구는 top-down방식과 bottom-up방식을 융합하여 블록공중합체 박막내에 새로운 나노구조를 유도하는 방법에 관한 것이다. 기존에 있었던 연구에서는 bottm-up방식의 패턴과 동일한 주기의 top-down 방식의 패턴을 사용하였으나, 이번 연구에서는 두 방식의 패턴 주기가 일치하지 않을 때 생성되는 블록공중합체의 나노구조를 구현하였다. 이는 표면 패턴을 이용하여 블록공중합체 박막에서의 새로운 나노구조를 제어할 수 있음을 보여주고 있다. |
| 저자 |
신동옥1, 김봉훈1, 정성준1, 박승학1, 이형민1, 구종민2, Guodong Xia1, Quoc Dat Nghiem1, 김상욱1
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| 소속 |
1한국과학기술원, 2한국과학기술(연) |
| 키워드 |
block copolymer; self-assembled nanostructure
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