| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2016년 봄 (05/18 ~ 05/20, 여수 디오션리조트 ) |
| 권호 | 22권 1호 |
| 발표분야 | A. 전자/반도체 재료 분과 |
| 제목 | 전체 용액 공정 기반의 투명 플렉서블 박막트랜지스터 제작 및 특성 평가 (Fabrication and characteristics of fully solution-processed transparent and flexible thin-film transistor) |
| 초록 | 현재 투명 플렉서블 디스플레이에 사용되는 박막트랜지스터 소자는 진공 공정을 기반으로 제조되고 있다. 진공 공정의 경우, 장비의 구축 및 유지 비용 측면에서 대량생산에 적합하지 않으며 대면적화에도 한계를 보이고 있다. 최근 기존의 진공공정에 비해 상대적으로 저렴한 공정비용으로 제조 가능한 용액공정에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 용액공정 기반의 플렉서블 박막트랜지스터 소자 제작을 위해서는 유연기판의 투습 방지를 위한 기능성 박막 및 표면 평탄화 공정이 필수적이며, 우수한 소자 특성을 위해서는 계면 특성조절을 통한 균일한 박막 형성이 가능해야 한다. 본 연구에서는 전체 용액공정 기반의 투명 플렉서블 박막트랜지스터를 제조하기 위해 polyimide (PI) 기판, yttrium-oxide (YOx) 투습 방지막, single-wall carbon nanotube (SWCNT), Ag nanowire (Ag NW) 전극, ionic liquid-blended polyvinylphenol (IL-blended PVP) 게이트 절연체, zinc oxide (ZnO) 반도체 소재 모두 spin coating과 spray coating공정을 이용하였다. 제조된 소자의 광학적, 표면 특성은 UV-vis-NIR, FE-SEM, AFM을 이용하여 분석 하였으며, I-V 특성 분석과 벤딩 테스트를 통해 투명 플렉서블 박막트랜지스터의 전기적 특성 및 소자 안정성을 평가하였다. |
| 저자 | 이수정, 김윤철, 조성래, 명재민 |
| 소속 | 연세대 |
| 키워드 | Transparent electrodes; Solution process; Flexible thin film transistor; Spin coating; Spray coating |
