| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2018년 봄 (04/25 ~ 04/27, 창원컨벤션센터) |
| 권호 | 24권 1호, p.758 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | 전산유체역학적 모사을 이용한 Lab-Scale TCS-Simense 반응기 분석 |
| 초록 | 화학기상증착 반응기(Chemical Vapor Deposition Reactor)는 폴리실리콘 생산에 있어서 가장 중요한 요소로써 내부 구조 및 재질, 원료 열유체의 흐름, 증착 면의 표면적, 온도 및 디자인 압력, 열교환의 최적화 방법 등의 factor에 따라 CVD 수율, 전력소모량, 제품의 품질 등이 요구되지만 실험적으로 이러한 공정 조건을 측정 및 관측하기가 용이하지 않기 때문에 전산유체역학적 모사((CFD simulation; computational fluid dynamics simulation)룰 이용 하여 반응기의 상태를 예측하고자 한다. 본 연구는 전산유체역학적 모사 기법을 활용하여 폴리실리콘 제조용 CVD 장비의 Rod가 성장함에 따라 초기, 중기, 말기의 3단계로 나누어서 반응기의 내부의 열유체, 온도분포 및 반응 속도를 예측하였으며, 이를 통하여 공정의 최적조건을 도출하여고자 한다. |
| 저자 | 이상훈, 박진호 |
| 소속 | 영남대 |
| 키워드 | 화공소재 전반 |
| 원문파일 | 초록 보기 |
