| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2015년 봄 (05/14 ~ 05/15, 구미코) |
| 권호 | 21권 1호 |
| 발표분야 | G. 나노/박막 재료 |
| 제목 | Thin film multi layer ceramic capacitors (MLCC) using Bi2Mg2/3Nb4/3O7 (BMNO) films for enhanced capacitance |
| 초록 | 향상된 capacitance를 위하여 Bi2Mg2/3Nb4/3O7 (BMNO) 박막을 이용한 multi layer ceramic capacitors(MLCC)를 제조하여 특성평가를 수행하였다. Pyrochlore 구조를 가진 Bi2Mg2/3Nb4/3O7(BMNO) 유전 물질은 Bulk 상태에서 높은 유전상수(210)를 갖는 물질이다. BMNO를 RF Sputter를 이용하여 상온에서 100nm 두께로 증착하였을 때 10-7A/cm2 정도의 낮은 누설 전류 밀도 값을 갖는다. BMNO의 높은 유전상수와 낮은 누설 전류 밀도를 갖는 전기적 특성을 이용하여 전극과 유전체를 다층구조로 쌓는 Multi Layer Ceramic Capacitors (MLCC) 구조로 응용하고자 한다. MLCC 구조는 전극 면적을 넓히고 유전체 두께를 얇게 하거나 내부 전극 층수를 높여 유전율을 향상시킨다. 다양한 온도에서 증착된 BMNO를 유전체로 사용하여 MLCC 구조로 활용하였을 때 전기적 특성을 분석하고자 한다. |
| 저자 | 박기태, 윤순길 |
| 소속 | 충남대 |
| 키워드 | BMNO; Thin film capacitor; Bi<SUB>2</SUB>Mg<SUB>2/3</SUB>Nb<SUB>4/3</SUB>O<SUB>7</SUB> |
