| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2013년 가을 (11/06 ~ 11/08, 제주롯데호텔) |
| 권호 | 19권 2호 |
| 발표분야 | 제25회 신소재 심포지엄-한국연구재단 세션 |
| 제목 | Development of In-situ Techniques Applicable under Complex environment 복합환경에서 적용 가능한 실시간 관찰 기법 개발 |
| 초록 | In-situ observation technique is one of the fascinating fields in analytical electron microscopy because of its unique capability of linking microstructure and the physical properties, which provides quick approach to the trouble-shooting and solution to the reliability issues in the processing. Simple external variables of heating and tensile stress were utilized since the early days of introduction of electron microscopy. State-of-art nano-mechanics combined with ultra-precision control circuits enabled us to develop incomparable, multi-variable in-situ techniques. Newly developed in-situ techniques can impose complex variables of heat, electricity, stress, and fluid, to the materials inside electron microscope simulating the real operational environment. Recent development of in-situ techniques will be presented from simple electrical probing system to liquid cell and cathodoluminescence, with their applications. 실시간 관찰 전자현미경 기법은 미세조직과 물리적 특성을 연결시킬 수 있는 특성 때문에 문제 해결의 시간을 줄이거나 공정의 신뢰성을 확보할 수 있기 때문에 분석 분야에서 매우 많은 관심을 보이는 분야이다. 단순한 열이나 응력을 가하던 초기 실시간 실험에서 시작하여 최근에는 초정밀 가공 조절 기법과 나노물질의 개발로 이전에는 불가능했던 복합환경에서의 실시간 관찰이 가능해 졌다. 첨단의 분석 기법 중 하나로 실제 재료가 사용되는 환경과 비슷한 조건에서 실시간관찰 실험을 진행할 수 있도록 열, 전기, 응력과 액체 등, 2개 이상의 복합적인 외적 변수를 부가할 수 있는 실시간 관찰 기법이 개발되었다. 본 강연에서는 단순 탐침형 실시간 관찰 스테이지에서부터 액체방과 음극형광 스테이지까지 현재까지 개발된 실시간 관찰 기법에 대해 설명하고 활용 예를 알아 본다. |
| 저자 | 김영운 |
| 소속 | 서울대 |
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